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在台積電被尊稱為“護國神山”之際,同時又因中美半導體競爭的態勢,讓所謂的“曝光機/光刻機/EUV微影設備” 變成新聞當中會出現的名詞了。這本自傳的作者林本堅院士,是前台積電研發副總,也是發明並推廣浸潤式微影,把摩爾定律推進了七代的那一位。
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在台積電被尊稱為“護國神山”之際,同時又因中美半導體競爭的態勢,讓所謂的“曝光機/光刻機/EUV微影設備” 變成新聞當中會出現的名詞了。這本自傳的作者林本堅院士,是前台積電研發副總,也是發明並推廣浸潤式微影,把摩爾定律推進了七代的那一位。
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